TTR101N萊寶真空計(jì)
TTR 101 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 到 1500 毫巴的較大測(cè)量范圍，基于對(duì) MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性和壓電傳感器中硅膜的機(jī)械偏轉(zhuǎn)的測(cè)量結(jié)果。
配備 RS232 數(shù)字通信接口 (P/N: 230366V02) 和 EtherCAT 數(shù)字通信接口 (P/N: 230702V02) 的變送器版本可設(shè)置變送器參數(shù)，并可提供實(shí)時(shí)壓力測(cè)量結(jié)果。更多詳情，請(qǐng)參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸屏顯示器 (P/N: 230354V02、230355V02、230356V02) 的變送器版本能夠監(jiān)控基本的變送器參數(shù)。更多詳情，請(qǐng)參閱第 0 章。
TTR 101 N THERMOVAC 變送器用途廣泛，可用作獨(dú)立裝置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。 所有 THERMOVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。
每臺(tái)變送器在出廠前已逐臺(tái)進(jìn)行全量程測(cè)試。測(cè)試報(bào)告隨附在包裝中。此外，每個(gè)變送器壓力讀數(shù)均在指定操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補(bǔ)償。
變送器擁有多達(dá)三個(gè)機(jī)械繼電器，這些繼電器可用于過(guò)程控制，例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備，用于獲取壓力讀數(shù)，或進(jìn)行壓力控制。
傳感器技術(shù)
變送器含有兩個(gè)獨(dú)立的傳感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機(jī)械系統(tǒng))) 傳感器元件基于熱傳導(dǎo)性的測(cè)量結(jié)果。MEMS Pirani 傳感器包含一個(gè)帶有熱電阻元件的硅芯片，其構(gòu)成空腔的一個(gè)表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內(nèi)無(wú)法進(jìn)行對(duì)流，因此，傳感器對(duì)安裝位置并不敏感。通過(guò)擴(kuò)散，氣體分子只到達(dá)熱元件，在此處可測(cè)量氣體的熱損耗。
壓電傳感器基于相對(duì)于集成式參考真空的硅膜機(jī)械偏轉(zhuǎn)測(cè)量結(jié)果。壓電傳感器獨(dú)立于氣體成分和濃度來(lái)測(cè)量真實(shí)的絕對(duì)壓力。
這兩個(gè)傳感器元件都極為堅(jiān)固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。
應(yīng)用
變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中，如：工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:
? 真空鎖壓力控制
? 一般真空壓力測(cè)量
? 前級(jí)管道和粗抽壓力測(cè)量
? 氣體回填測(cè)量和控制
? 質(zhì)譜儀控制
? 啟動(dòng)超高真空電離 (UHV) 規(guī)
? 系統(tǒng)過(guò)程控制
? 檢測(cè)異常壓力，利用設(shè)定點(diǎn)繼電器采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?
? 控制系統(tǒng)壓力
廢棄處理
TTR 101 N THERMOVAC 變送器是根據(jù) RoHS (在電子電氣設(shè)備中限制使用某些有害物質(zhì)) 指令制造的
