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愛發(fā)科NRL180A干式真空泵維修NRL60A/NRL90A/NRL180A干式真空泵特長(zhǎng)NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。低噪音、低振動(dòng)優(yōu)良的耐腐蝕性標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對(duì)腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。選購(gòu)件可選購(gòu)消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮?dú)饬髁块_關(guān)、泵溫傳感器。用途?活性氣體（CV
