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iH600愛德華干泵維修

iH600愛德華干泵維修
產(chǎn)品參數(shù)

品牌：愛德華EDWARDS

型號：iH600

凈含量：415KG

簡介：iH600愛德華干泵維修

產(chǎn)品描述 

產(chǎn)品詳情

iH600愛德華干泵維修
iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59020946
技術(shù)數(shù)據(jù)
峰值速度 518 m3h-1
305 cfm
8635 l min-1
極限真空 2 x 10-3 mbar
1.5 x 10-3 Torr
0.2 Pa
典型軸封氮流量 4 slm
進(jìn)氣口連接 ISO100
出口連接 NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 240 l h-1
4 l min-1
重量 415 kg
極限功率輸入 3.1 kW
電機(jī)額定功率 5.1 kW
油容量 1.43 l
功能和優(yōu)勢
優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無需預(yù)防性維護(hù)。
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機(jī)功率的同時最大程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積
概述
Edwards 高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照最高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時間并提高生產(chǎn)率，同時最大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
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