iH80,iH160,iH1000,iH1800
iGX100L,iGX600L,iGX100N,iGX600N,iGX1000N,iGX100M,iGX100MTI,iGX600M
GX100L,GX100N,GX600L,GX600N,GX1000N,GX100TI
功能和優(yōu)勢(shì)
優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無(wú)需預(yù)防性維護(hù)。
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)最大程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無(wú)需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器，而第五級(jí)泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積
概述
Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明，可以按照最高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)最大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
應(yīng)用
負(fù)載鎖、輸送、計(jì)量、平版印刷、PVD 制程、PVD 預(yù)清潔、RTA、剝離/灰化、刻蝕、植入源、HDP CVD、RTP、SACVD、MCVD、PECVD、LPCVD、ALD
有關(guān)任何特定應(yīng)用條件下 iH 系統(tǒng)穩(wěn)定性的建議，請(qǐng)與 東莞市鴻鑫真空設(shè)備有限公司聯(lián)系。
