ZRS系列機(jī)械增壓泵基于羅茨原理，機(jī)械增壓泵是壓力范圍為0.01至10 mbar需要大抽速的應(yīng)用中廣受歡迎的類型。一般需要配套一臺(tái)前級(jí)泵使用，前級(jí)泵可以預(yù)抽到增壓泵的啟動(dòng)壓力。機(jī)械增壓泵運(yùn)行壓力相對(duì)較低，不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性工藝介質(zhì)中，因此可靠性非常高。
特性和優(yōu)勢(shì)
? 適用于壓力范圍為0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr，需要抽速較大的應(yīng)用場(chǎng)合
? 運(yùn)行壓力相對(duì)較低，可靠性高
? ZRS系列屬于高品質(zhì)、無油泵結(jié)構(gòu)
- 噪音低、無振動(dòng)運(yùn)行
- 堅(jiān)固耐用、耐腐蝕
- 擁有先進(jìn)的軸封技術(shù)，工藝腔無油污染
? 有效的軸封確保油不會(huì)進(jìn)入泵腔，而且由于沒有內(nèi)部和外部旁通管路和閥這些可能會(huì)被腐蝕的部件，因此將維護(hù)需求降至盡可能低。
? 對(duì)軸封的設(shè)計(jì)進(jìn)行了優(yōu)化，以確保潤滑劑不會(huì)遷移到泵腔，使泵在潔凈度要求非常高的環(huán)境下發(fā)揮增壓泵的性能。此外，還可以防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子
凸角和端面上聚集微塵顆粒。
? 動(dòng)平衡的轉(zhuǎn)子及精密研磨齒輪使泵的運(yùn)行平穩(wěn)、靜音，以滿足先進(jìn)技術(shù)設(shè)備制造商的要求。
應(yīng)用
? 真空包裝
? 干燥及脫氣
? 真空冶金
? 真空蒸餾
? 薄膜涂層
? 低密度風(fēng)洞
? 空間模擬
? 真空浸漬
? 冷凍干燥
