愛德華XDS46i渦旋泵
Edwards XDS35i/XDS46i 干式渦旋泵
Edwards XDS35i/XDS46i 干式渦旋泵
軸承護(hù)罩
確保制程氣體和軸承潤(rùn)滑分離,以保證清潔真空并使?jié)櫥槐恢瞥虤怏w污染,從而延長(zhǎng)軸承使用壽命。
智能電機(jī)驅(qū)動(dòng)
意味著全程穩(wěn)定的性能、泵過載保護(hù)和遠(yuǎn)程啟動(dòng)/停止功能。
高流速氣囊功能
允許泵送蒸汽,包括高達(dá) 240 gh-1 的水蒸汽
簡(jiǎn)便的單側(cè)渦旋設(shè)計(jì)
可在數(shù)分鐘內(nèi)完成維護(hù),以降低擁有成本并大程度延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間。
更進(jìn)一步
增強(qiáng)型在初始抽空期間可減少多達(dá) 20% 的峰值電力需求,這意味著它能夠在不損失性能的情況下抽空大容量腔室,且在該粗抽壓力下抽取速度可提高達(dá) 25%,這也有助于提高應(yīng)用循環(huán)頻率。
XDS 干式渦旋泵
在干泵真空領(lǐng)域,XDS 干式渦旋泵已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),在廣泛的應(yīng)用中被證明是一種堅(jiān)固耐用且清潔的真空泵解決方案。
現(xiàn)在,結(jié)合zhuanli的雙啟動(dòng)渦旋形式技術(shù)和旁通閥,Edwards 得以提供 XDS35i/XDS46i 增強(qiáng)型系列泵,以補(bǔ)充我們?cè)械漠a(chǎn)品線。